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S lynx紧凑型3D光学轮廓仪
S lynx - Compact 3D Surface Profiler
商品货号:ECS002861
商品品牌:Sensofar
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详细介绍

S lynx紧凑型3D光学轮廓仪

产品描述——紧凑、灵活、强大

S lynx是一款新的非接触式三维表面轮廓仪,用于工业和科研应用,其设计定位是一个紧凑和灵活的系统。S lynx可以测量各种表面的不同纹理、结构、粗糙度和波纹度。S lynx的多功能性可以满足广泛的高端表面测量应用。Sensofar专有的3合一测量技术确保了系统具有理想的性能,附带的SensoSCAN软件则让客户能够进行直观操作。

应用

ª 光敏面应用            ª 汽车

ª 消费电子              ª 能源

ª LCD                   ª 材料科学

ª 微电子                ª 微制造

ª 微体古生物学          ª 光学

ª 模具加工              ª 半导体

ª 钟表制造

主要功能

ª 共聚焦

共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0。10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70°(粗糙表面达86°)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

ª 干涉

白光垂直扫描干涉(VSI)是一种广泛用于测量表面特性(如形貌或透明薄膜结构)的功能强大的技术。它最适合测量从光滑到适度粗糙的表面,无论物镜的NA或者放大倍数变化,均可以提供纳米级的垂直分辨率。

ª 多焦面叠加

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验,特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(最大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。

规格

详细的产品规格参见产品手册,或者咨询我司销售。

商品标记

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